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    • 產品名稱: PVD12512 裝飾涂層設備

    主要技術參數與配置:

    1.真空室容積:φ1250*1200
    2.工位:16個或18個,工件回轉最大直徑160mm
    3.靶、?。和ㄓ媒涌谠O計,可按需配置
    4.推薦配置:4對70靶+10支弧靶的IP黑機型或1對φ100靶+2支平面靶+10支弧靶的IP金機型

    Configuration:

    Ⅰ.Vacuum chamber volume:Φ1250mm*h1200mm
    Ⅱ.station:16or18,Maximum diameter of workpiece rotation:160mm
    Ⅲ.Target, arc: general interface design, can be configured on demand
    Ⅳ.Recommended configuration: 4 pairs of 70 target +10 arc target IP black model or 1 pairs of 100 target +2 support plane target +10 arc target IP gold model.

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